国产芯片突破在即，荷兰ASML掐住关键设备，意外盘活国产...

宋雨

在芯片制造的过程中，光刻机是最关键的设备之一，也是攻克难度最高的设备。

长期以来，荷兰ASML凭借着在光刻机行业的垄断地位，掐住了全球芯片制造业的脖子。数据显示，在2019年全球光刻机市场中，ASML独占74%的市场。在EUV光刻机市场中，ASML更是实现了100%的垄断。

中国的芯片制造产业，也被ASML掐在手中。至今，ASML仍未松口卖EUV光刻机给中国大陆企业，这令我国实现10nm及以下制程芯片困难重重。

ASML的举措让中国企业有了深深的危机感，意外盘活了国产光刻机。近年来，国产光刻机产业取得了越来越多的成绩。

据企查查显示，日前科益虹源股权发生变更，华为旗下的哈勃投资成为第七大股东，占股为4.76%。科益虹源在光源系统领域表现优异，而光源系统则是光刻机的三大核心技术之一。

值得注意的是，除华为外还有许多企业也入股了科益虹源。这表示，更多的资本开始关注中国光刻机产业，中国光刻机企业有更多的资金用于研发。

虽然我国在光刻机领域，仍不能与ASML相抗衡，但我国在光刻机及关键产业都打下了一定的基础。这成为我国光刻机崛起的底气。

在光刻机的核心部件——双工件台上，华卓精科已经取得突破。它是全球除ASML之外，唯一掌握高端光刻机双工件台的企业，目前已经可以生产浸没式28nm光刻机DWSi系统双工件台，表现亮眼。

除科益虹源、华卓精科外，我国还有国望光学、国科精密、启尔机电这三家光刻机产业链企业，它们分别扎根于物镜系统、曝光光学系统以及浸没系统领域。

这五大供应商，共同填补了我国光刻机核心部件上的空白，具有重要意义。

此外，我国高校、科研机构也频频传来新突破，为国产光刻机的突围带来了更多的可能性。

譬如，今年2月份清华大学工程物理系实现稳态微聚束（SSMB）的首个原理验证实现。据了解，SSMB功率大、波长短的特性，使其有望作为未来EUV光刻机的光源。

由此不难看出，国产光刻机正在快速崛起。

从上述种种事件来看，ASML CEO的预言正在上演，他曾表示，若禁止光刻机出口中国，中国可能在3年内就掌握这项技术。

十分期待国产光刻机突出重围的这一天。